[实用新型]一种直推式酸洗机有效
申请号: | 201020158273.6 | 申请日: | 2010-04-14 |
公开(公告)号: | CN201708134U | 公开(公告)日: | 2011-01-12 |
发明(设计)人: | 何永成 | 申请(专利权)人: | 常州星海电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/329;B08B3/08 |
代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人: | 顾进 |
地址: | 213022 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种直推式酸洗机,包括气缸、酸洗舟、水洗器、进水管、1号酸槽、2号酸槽、工作盘、3号酸槽、酸洗舟架、机架、控制箱、吸风罩、4号酸槽;工作盘安装在机架的上方,酸洗舟架安装在工作盘内,酸洗舟可沿酸洗舟架滑行;每个酸槽上都安装有带电磁阀的出酸管,每个酸槽的旁边都安装有进水管的支管,每根支管上都配有电磁阀;所有电磁阀都与控制箱实行电连接;所述酸洗舟架包括酸洗位、水洗位、底冲位、淋冲位、平退位,所述酸洗位、水洗位、底冲位、淋冲位、平退位在酸洗舟架上呈直线式布置。本实用新型有利于生产流程的进行,节约生产时间,提高了生产效率,节约原料,生产成本降低,提高了效益和竞争力。 | ||
搜索关键词: | 一种 直推式 酸洗 | ||
【主权项】:
一种直推式酸洗机,包括气缸(1)、酸洗舟(2)、水洗器(3)、进水管(4)、1号酸槽(5)、2号酸槽(6)、工作盘(7)、3号酸槽(8)、酸洗舟架(9)、机架(10)、控制箱(11)、吸风罩(12)、4号酸槽(13);工作盘(7)安装在机架(10)的上方,酸洗舟架(9)安装在工作盘(7)内,酸洗舟(2)可沿酸洗舟架(9)滑行,沿工作盘(7)自左而右安装有气缸(1)、酸洗舟(2)、水洗器(3)、进水管(4)、1号酸槽(5)、2号酸槽(6)、3号酸槽(8)、4号酸槽(13)以及控制箱(11);在工作盘(7)的上方安装有吸风罩(12);每个酸槽上都安装有带电磁阀的出酸管(14),每个酸槽的旁边都安装有进水管(4)的支管(4 1),每根支管(4 1)上都配有电磁阀;所有电磁阀都与控制箱(11)实行电连接;所述酸洗舟架(9)包括酸洗位、水洗位、底冲位(9 8)、淋冲位(9 9)、平退位(9 10),其特征在于,所述酸洗位、水洗位、底冲位(9 8)、淋冲位(9 9)、平退位(9 10)在酸洗舟架(9)上呈直线式布置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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