[实用新型]一种精密可调定位装置有效
申请号: | 201020161741.5 | 申请日: | 2010-04-16 |
公开(公告)号: | CN201681253U | 公开(公告)日: | 2010-12-22 |
发明(设计)人: | 胡永辉 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供一种精密可调定位装置,包括第一组和第二组螺旋调节结构,每组所述螺旋调节结构包括:调节基板、被调节件、一对导向销和螺旋调节机构;所述调节基板上设置有一圆柱凹槽和一对销孔,所述圆柱凹槽凹入方向设置一螺纹孔;所述被调节件上设置有一对导向腰形孔和一圆柱凸台;所述导向销一端与所述销孔紧密配合,另一端与所述导向腰形孔相适配;所述螺旋调节结构由螺旋块和定位螺钉构成,所述螺旋块与所述圆柱凹槽相适配。所述精密可调定位装置具有结构紧凑简单、调节方便、满足调节精度以及能够实现一至多自由度独立调节的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 精密 可调 定位 装置 | ||
【主权项】:
一种精密可调定位装置,其特征在于,包括第一组和第二组螺旋调节结构,所述第一组和第二组螺旋调节结构的调节方向互相垂直,每组所述螺旋调节结构包括:调节基板、被调节件、一对导向销和螺旋调节机构;所述调节基板上设置有一圆柱凹槽和一对销孔,所述圆柱凹槽凹入方向设置一螺纹孔;所述被调节件上设置有一对导向腰形孔和一圆柱凸台;所述导向销一端与所述销孔紧密配合,另一端与所述导向腰形孔相适配,以限定被调节件的单方向移动;所述螺旋调节结构由螺旋块和定位螺钉构成,所述螺旋块与所述圆柱凹槽相适配,所述螺旋块上设置有定位槽和螺旋槽,所述螺旋槽与所述圆柱凸台相适配,所述定位螺钉包括螺纹段和光轴段两部分,所述螺纹段旋进所述螺纹孔,所述光轴段与所述定位槽适配,确保螺旋块做无移动旋转。
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