[实用新型]硅棒晶托无效
申请号: | 201020169378.1 | 申请日: | 2010-04-19 |
公开(公告)号: | CN201677413U | 公开(公告)日: | 2010-12-22 |
发明(设计)人: | 刘雷;罗贵实;陈鹏;唐迪 | 申请(专利权)人: | 锦州日鑫硅材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/04 |
代理公司: | 锦州辽西专利事务所 21225 | 代理人: | 李辉 |
地址: | 121000 辽宁省锦*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种硅棒晶托,解决了在单晶硅生产过程中硅棒与晶托粘接后装入线切方机进行切割过程中,硅棒边皮脱落造成断线的问题。它包括晶托基体,其特殊之处是:在晶托基体的圆周面上设有四个插槽,所述的插槽沿圆周方向均布,该硅棒晶托还设有用来插装在插槽内的弧形挡板。在硅棒粘接完毕后,把挡板插入到插槽中,将切割后的硅棒边皮挡住,固定效果好,从根本上杜绝了边皮脱落造成断线情况的发生,并且结构简单,拆卸方便,容易清洗。 | ||
搜索关键词: | 硅棒晶托 | ||
【主权项】:
一种硅棒晶托,包括晶托基体,其特征是:在晶托基体的圆周面上设有四个插槽,所述的插槽沿圆周方向均布,该硅棒晶托还设有用来插装在插槽内的弧形挡板。
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