[实用新型]一种真空压力控制器无效

专利信息
申请号: 201020173910.7 申请日: 2010-04-29
公开(公告)号: CN201780511U 公开(公告)日: 2011-03-30
发明(设计)人: 孙宝云;董金泉 申请(专利权)人: 中国科学院高能物理研究所
主分类号: G05D16/06 分类号: G05D16/06
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人: 吕俊清
地址: 100049 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种真空压力控制器,用来控制仪器系统(1)的真空度或压力,包括:密封在密封盒(2)中的两个真空度控制单元或压力控制单元(3、4);与所述第一个真空度控制单元或压力控制单元(3)相连的抽气电磁阀(5),所述抽气电磁阀(5)还连接有抽气管路(7);与所述第二个真空度控制单元或压力控制单元(4)相连的进气电磁阀(6),所述进气电磁阀(6)还连接有进气管路(8);为所述真空压力控制器供电的电源(12);其中所述真空压力控制器通过连通管路(91、92、93、94)与所述仪器系统(1)连接。本实用新型结构简单、便于制造、维护方便、成本低廉,并具有防爆功能。
搜索关键词: 一种 真空 压力 控制器
【主权项】:
一种真空压力控制器,用来控制仪器系统(1)的真空度或压力,其特征在于,包括:密封在密封盒(2)中的两个真空度控制单元或压力控制单元(3、4);与所述第一个真空度控制单元或压力控制单元(3)相连的抽气电磁阀(5),所述抽气电磁阀(5)还连接有抽气管路(7);与所述第二个真空度控制单元或压力控制单元(4)相连的进气电磁阀(6),所述进气电磁阀(6)还连接有进气管路(8);为所述真空控制器供电的电源(12);其中所述真空控制器的所述抽气电磁阀(5)、第一个真空度控制单元或压力控制单元(3)、第二个真空度控制单元或压力控制单元(4)以及进气电磁阀(6)分别通过连通管路(91、92、93、94)与所述仪器系统(1)连接。
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