[实用新型]一种真空压力控制器无效
申请号: | 201020173910.7 | 申请日: | 2010-04-29 |
公开(公告)号: | CN201780511U | 公开(公告)日: | 2011-03-30 |
发明(设计)人: | 孙宝云;董金泉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院高能物理研究所 |
主分类号: | G05D16/06 | 分类号: | G05D16/06 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 吕俊清 |
地址: | 100049 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种真空压力控制器,用来控制仪器系统(1)的真空度或压力,包括:密封在密封盒(2)中的两个真空度控制单元或压力控制单元(3、4);与所述第一个真空度控制单元或压力控制单元(3)相连的抽气电磁阀(5),所述抽气电磁阀(5)还连接有抽气管路(7);与所述第二个真空度控制单元或压力控制单元(4)相连的进气电磁阀(6),所述进气电磁阀(6)还连接有进气管路(8);为所述真空压力控制器供电的电源(12);其中所述真空压力控制器通过连通管路(91、92、93、94)与所述仪器系统(1)连接。本实用新型结构简单、便于制造、维护方便、成本低廉,并具有防爆功能。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 压力 控制器 | ||
【主权项】:
一种真空压力控制器,用来控制仪器系统(1)的真空度或压力,其特征在于,包括:密封在密封盒(2)中的两个真空度控制单元或压力控制单元(3、4);与所述第一个真空度控制单元或压力控制单元(3)相连的抽气电磁阀(5),所述抽气电磁阀(5)还连接有抽气管路(7);与所述第二个真空度控制单元或压力控制单元(4)相连的进气电磁阀(6),所述进气电磁阀(6)还连接有进气管路(8);为所述真空控制器供电的电源(12);其中所述真空控制器的所述抽气电磁阀(5)、第一个真空度控制单元或压力控制单元(3)、第二个真空度控制单元或压力控制单元(4)以及进气电磁阀(6)分别通过连通管路(91、92、93、94)与所述仪器系统(1)连接。
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