[实用新型]一种副炉开门式单晶炉有效
| 申请号： | 201020177559.9 | 申请日： | 2010-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN201695104U | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 许月明;汪益龙;周岱忠;李晓荣 | 申请（专利权）人： | 杭州富通半导体设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B35/00 |
| 代理公司： | 浙江翔隆专利事务所 33206 | 代理人： | 沈绿怡 |
| 地址： | 311400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种副炉开门式单晶炉，涉及一种单晶炉。其炉体从上至下的主要部件依次为：储存仓、副炉、炉盖、主炉、炉底板，其特征在于：副炉的正面设有副炉开门装置，副炉的下端设有旋转式隔离阀装置，炉盖与主炉的连接处设有防护挡板，主炉冷却夹层内设有由下至上环绕主炉并以螺旋形式分布的螺旋式水道，与主炉下部连接的两只真空管端面分别设有两只相同的防爆阀门。其方便了生产过程中的取晶、副炉清理、中途掺杂及二次投料，降低炉体高度，提高主副炉隔离性能，改善了冷却效果，进一步完善防护措施，确保了安全生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 开门 式单晶炉 | ||
【主权项】：
一种副炉开门式单晶炉，其炉体从上至下的主要部件依次为：储存仓、副炉、炉盖、主炉、炉底板，其特征在于：副炉的正面设有副炉开门装置，副炉的下端设有旋转式隔离阀装置，炉盖与主炉的连接处设有防护板，主炉冷却夹层内设有由下至上环绕主炉并以螺旋形式分布的螺旋式水道，与主炉下部连接的两只真空管的端面分别设有两只相同的防爆阀门。
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