[实用新型]一种单晶炉真空系统过滤器有效
| 申请号： | 201020177567.3 | 申请日： | 2010-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN201815207U | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 许月明;汪益龙;周岱忠;李晓荣 | 申请（专利权）人： | 杭州富通半导体设备科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/24 | 分类号： | B01D46/24;B01D46/42;F04B39/16 |
| 代理公司： | 浙江翔隆专利事务所 33206 | 代理人： | 沈绿怡 |
| 地址： | 311400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种单晶炉真空系统过滤器，涉及一种单晶炉真空系统水冷式过滤器。其包括一个过滤缸，内筒装有金属丝过滤网，过滤缸下端与支架连接，过滤缸外筒的侧面和下部分别与气体进口管和气体出口管连接，其主要技术特征是所述过滤缸的顶端设有盖板，盖板上部设有扶手，盖板由三个均布的锁紧盘来锁紧，锁紧盘分别链接于三个均布的锁耳上，锁耳与外筒焊接，盖板与外筒上端之间设有密封圈。本实用新型达到较高的过滤效率，过滤出温度相对较低并且清洁的气体，延长了真空泵的使用寿命，减少了对环境的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 真空 系统 过滤器 | ||
【主权项】：
一种单晶炉真空系统过滤器，其包括一个过滤缸，过滤缸由内筒和外筒组成，内筒装有金属过滤网，过滤缸下端与支架连接，过滤缸的侧面和下部分别与气体进口管和气体出口管连接，其特征在于所述过滤缸的顶端设有盖板，盖板上部设有扶手，盖板由三个均布的锁紧盘锁紧，锁紧盘分别链接于三个均布的锁耳上，锁耳与外筒焊接，盖板与外筒上端之间设有密封圈。
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