[实用新型]半导体太阳能镀膜工艺腔室的承受器有效
申请号: | 201020179748.X | 申请日: | 2010-05-05 |
公开(公告)号: | CN201708179U | 公开(公告)日: | 2011-01-12 |
发明(设计)人: | 张浩;尤长林;李长江 | 申请(专利权)人: | 江苏综艺光伏有限公司 |
主分类号: | H01L31/20 | 分类号: | H01L31/20;C23C14/50;C23C16/458 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 张惠忠 |
地址: | 226300 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体太阳能镀膜工艺腔室的承受器,包括加热层以及设置在加热层上端的热量分配层,其特征在于:在所述的热量分配层上端还设置有一可拆卸的表面层。所述的表面层为石墨层。在所述的加热层下端还设置有底部背板层。与现有技术相比,本实用新型在承受器的加热层最上层放置一表面层,当金属氧化膜沉积到一定量,影响镀膜效果时,可以将表面层拆下,换另一个表面层,十分便捷且不不要付出大量的劳动力,同时,采用石墨的表面层,石墨具有良好的热传递性能。 | ||
搜索关键词: | 半导体 太阳能 镀膜 工艺 承受 | ||
【主权项】:
一种半导体太阳能镀膜工艺腔室的承受器,包括加热层以及设置在加热层上端的热量分配层,其特征在于:在所述的热量分配层上端还设置有一可拆卸的表面层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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