[实用新型]半导体太阳能镀膜工艺腔室的承受器有效

专利信息
申请号: 201020179748.X 申请日: 2010-05-05
公开(公告)号: CN201708179U 公开(公告)日: 2011-01-12
发明(设计)人: 张浩;尤长林;李长江 申请(专利权)人: 江苏综艺光伏有限公司
主分类号: H01L31/20 分类号: H01L31/20;C23C14/50;C23C16/458
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 张惠忠
地址: 226300 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种半导体太阳能镀膜工艺腔室的承受器,包括加热层以及设置在加热层上端的热量分配层,其特征在于:在所述的热量分配层上端还设置有一可拆卸的表面层。所述的表面层为石墨层。在所述的加热层下端还设置有底部背板层。与现有技术相比,本实用新型在承受器的加热层最上层放置一表面层,当金属氧化膜沉积到一定量,影响镀膜效果时,可以将表面层拆下,换另一个表面层,十分便捷且不不要付出大量的劳动力,同时,采用石墨的表面层,石墨具有良好的热传递性能。
搜索关键词: 半导体 太阳能 镀膜 工艺 承受
【主权项】:
一种半导体太阳能镀膜工艺腔室的承受器,包括加热层以及设置在加热层上端的热量分配层,其特征在于:在所述的热量分配层上端还设置有一可拆卸的表面层。
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