[实用新型]化学试剂供应装置无效
| 申请号： | 201020180828.7 | 申请日： | 2010-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN201680151U | 公开（公告）日： | 2010-12-22 |
| 发明（设计）人： | 谭勇;姚念;银宗强;郗志通;罗钰萌 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/04 | 分类号： | F17D1/04;F17D1/08 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 430205 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种化学试剂供应装置，所述化学试剂供应装置包括：回收管路，其一端连接储存有化学试剂的供应单元，另一端连接储液单元；第一供气管路，其一端连接所述储液单元，另一端连接第一三通接头；第二供气管路，其一端连接所述第一三通接头，另一端连接气体供应单元；第一排气管路，其一端连接所述第一三通接头，另一端连接气体排放单元。所述化学试剂供应装置可以回收供应单元内的化学试剂，且所述化学试剂不会受到任何污染，可继续用于工艺生产，节约了生产成本，且减轻了废水处理单元的负担，并有利于保护环境。 | ||
| 搜索关键词： | 化学试剂 供应 装置 | ||
【主权项】：
一种化学试剂供应装置，其特征在于，包括：回收管路，其一端连接储存有化学试剂的供应单元，另一端连接储液单元；第一供气管路，其一端连接所述储液单元，另一端连接第一三通接头；第二供气管路，其一端连接所述第一三通接头，另一端连接气体供应单元；第一排气管路，其一端连接所述第一三通接头，另一端连接气体排放单元。
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