[实用新型]一种气浮式定位平台无效

专利信息
申请号: 201020181255.X 申请日: 2010-04-16
公开(公告)号: CN201833188U 公开(公告)日: 2011-05-18
发明(设计)人: 杨国哲;林海波 申请(专利权)人: 杨国哲;林海波
主分类号: B23Q1/74 分类号: B23Q1/74;G12B9/10;H01L21/68;G05D3/12
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 110023 辽宁省沈阳*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型提供了一种气浮式定位平台,属于机械技术领域。它解决了现在有的定位平台精度差、制造困难的问题。本气浮式定位平台包括底座、工作台和两块支撑板,两块支撑板平行设置在底座上并与底座固连,工作台和底座之间设有T型结构的气浮导轨一和气浮导轨二,气浮导轨一设置在两块支撑板之间并与支撑板固连,在底座上设有真空载荷空气轴承,气浮导轨二位于真空载荷空气轴承上。本气浮式定位平台由两根T型结构气浮导轨作为支撑,采用平面气浮真空载荷空气轴承作为工作台的平面支撑,大理石材质作为底座,不但结构简单,而且降低了平台的安装难度,提高了平台的阻尼,保证了整个工作台的垂直跳动,提高了工作台的精度和承载能力。
搜索关键词: 一种 气浮式 定位 平台
【主权项】:
一种气浮式定位平台,包括底座(1)、工作台(4)和两块支撑板(3),所述的两块支撑板(3)平行设置在底座(1)上并与底座(1)固连,所述的工作台(4)设置在底座(1)上,其特征在于,所述的工作台(4)和底座(1)之间设有能使工作台(4)沿Y方向上移动的气浮导轨一(7)和能使工作台(4)沿X方向上移动的气浮导轨二(8),气浮导轨一(7)与气浮导轨二(8)设置成T型结构,所述的气浮导轨一(7)设置在两块支撑板(3)之间,且两端分别与支撑板(3)固连,在底座(1)上设有真空载荷空气轴承(6),气浮导轨二(8)位于真空载荷空气轴承(6)上。
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