[实用新型]具有加热罩的真空蒸镀装置有效
| 申请号： | 201020185132.3 | 申请日： | 2010-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN201751428U | 公开（公告）日： | 2011-02-23 |
| 发明（设计）人： | 徐琼芳;陈宜杰;白英宏 | 申请（专利权）人： | 聚昌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型是有关于一种具有加热罩的真空蒸镀装置，包括：本体；蒸发源；镀锅；以及加热罩，其中本体具有真空腔室，而真空腔室内由下而上设置有蒸发源、石英灯、镀锅及加热罩。其中加热罩覆盖在镀锅上方，以确保蒸镀材在蒸镀过程中拥有足够的能量，进而使蒸镀材的晶格排列更为整齐并可提升蒸镀材与晶圆的密实性，从而提高真空蒸镀装置的蒸镀率、蒸镀速率以及蒸镀效果。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 加热 真空 装置 | ||
【主权项】：
一种具有加热罩的真空蒸镀装置，其特征在于：所述的具有加热罩的真空蒸镀装置包括：一本体，所述的本体具有一真空腔室；一蒸发源，所述的蒸发源设置在所述的真空腔室的底部；一镀锅，所述的镀锅借由一旋转机构设置在所述的真空腔室的顶部；以及一加热罩，所述的加热罩设置在所述的真空腔室内并置于所述镀锅相对于所述蒸发源的另一侧。
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