[实用新型]自动光学检测系统有效
| 申请号： | 201020187070.X | 申请日： | 2010-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN201673124U | 公开（公告）日： | 2010-12-15 |
| 发明（设计）人： | 林君谚;吴金来;金山 | 申请（专利权）人： | 上海中晶科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 200233 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种自动光学检测系统，包含一影像撷取装置、一基准标记分析单元、一影像校正单元以及一缺陷分析单元。影像撷取装置用以撷取一待测样品的影像。基准标记分析单元与影像撷取装置电性连接，用以找出影像中的基准标记。影像校正单元与基准标记分析单元电性连接，用以依据基准标记校正影像并输出一校正影像。缺陷分析单元与影像校正单元电性，用以分析校正影像是否存在缺陷。上述自动光学检测系统可改善因待测样品晃动所造成的影像位移的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 光学 检测 系统 | ||
【主权项】：
一种自动光学检测系统，其特征在于，包含：一影像撷取装置，其用以撷取一待测样品的影像；一基准标记分析单元，其与该影像撷取装置电性连接，用以找出该影像中的一基准标记；一影像校正单元，其与该基准标记分析单元电性连接，用以依据该基准标记校正该影像并输出一校正影像；以及一缺陷分析单元，其与该影像校正单元电性，用以分析该校正影像是否存在缺陷。
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