[实用新型]镀膜设备用的门阀传动结构无效
| 申请号： | 201020194665.8 | 申请日： | 2010-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN201678730U | 公开（公告）日： | 2010-12-22 |
| 发明（设计）人： | 陈强;唐贵民;黄启耀;姜翠宁;王珏;闫都伦;王克斌 | 申请（专利权）人： | 深圳新南亚技术开发有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种传动更精确并能有效增强密封效果的门阀传动结构，包括提供动力的气缸、安装于支架上的门板组件，该组件由压块、肘节、门阀压座和门阀板传动连接组成，所述气缸通过齿条齿轮传动结构连接至主轴，该主轴传动连接压块，带动门板组件动作。本传动方法简单实用，传动效能高，控制精确。结构紧凑，传动灵活，门阀转动无死角，门阀能紧密贴合真空室，密封效果非常理想。因为采用齿条齿轮传动非常灵活精密，因而各部件拆卸十分简单，方便维护和更换各种部件。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 备用 门阀 传动 结构 | ||
【主权项】：
一种镀膜设备用的门阀传动结构，包括提供动力的气缸、安装于支架上的门板组件，该组件由压块、肘节、门阀压座和门阀板传动连接组成，其特征在于：所述气缸通过齿条齿轮传动结构连接至主轴，该主轴传动连接压块，带动门板组件动作。
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