[实用新型]传送晶片的机械手臂、晶片操作机台及机械构件

摘要

一种传送晶片的机械手臂、晶片操作机台及机械构件，该机械手臂包含一承载盘、一内环、一驱动装置、至少一接触垫片。内环设于承载盘并定义有至少一孔洞；驱动装置连接于承载盘；接触垫片设于内环的孔洞并且包含一第一突出部及一第二突出部；第一突出部突设于内环的一第一表面上，用以接触晶片以避免晶片接触第一表面；第二突出部被卡住于孔洞内，藉以使接触垫片固定于内环；本实用新型可以减少微尘粒子的产生、减少磨损现象及调校机台所需的时间。

主权项

一种传送晶片的机械手臂，用以接触一晶片并传送该晶片，其特征在于，该机械手臂包含：一承载盘；一内环，设于该承载盘，并设有至少一孔洞；一驱动装置，连接该承载盘，并驱动该承载盘移动；以及至少一接触垫片，设于该内环的该孔洞，且该接触垫片包含：一第一突出部，突设于该内环的一第一表面上，该第一突出部接触所述晶片，所述晶片与该第一表面间具有间隙；以及一第二突出部，卡设于所述孔洞内，该接触垫片固定于该内环。