[实用新型]硅片清洗制绒槽无效
| 申请号： | 201020208171.0 | 申请日： | 2010-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN201686766U | 公开（公告）日： | 2010-12-29 |
| 发明（设计）人： | 王瑞勋 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 周祥生 |
| 地址： | 213200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种硅片清洗制绒槽，它包括槽体和加热管，在槽体的槽底设有加热管支撑架，加热管限位槽到槽底的距离为液面高度的1/5～1/4。由于在硅片清洗制绒槽内增设了加热管支撑架，加热管由加热管支撑架上的加热管限位槽限位，加热管支撑架将加热管与清洗制绒槽的槽壁和槽底隔开，避免了加热管与清洗制绒槽的槽壁和槽底直接接触，确保清洗制绒槽不被高温烧损。加热时，加热管上的温度能够均匀地向槽内溶液的四周扩散，保证了槽内溶液温度的均匀性，同时也保证了生产的安全。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 清洗 制绒槽 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗制绒槽，它包括槽体(1)和加热管(2)，其特征是：在槽体(1)的槽底(3)上设有加热管支撑架(4)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州亿晶光电科技有限公司，未经常州亿晶光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201020208171.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电子提花机电磁阀组件的接头快速插入结构
- 下一篇：一种离子氮化炉
