[实用新型]单晶炉用坩埚轴有效
申请号: | 201020213850.7 | 申请日: | 2010-06-03 |
公开(公告)号: | CN201670891U | 公开(公告)日: | 2010-12-15 |
发明(设计)人: | 周凯忠 | 申请(专利权)人: | 宁夏日晶电子科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;F27B14/10 |
代理公司: | 上海科琪专利代理有限责任公司 31117 | 代理人: | 伍贤喆;夏永兴 |
地址: | 753000 宁夏回族自治*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本实用新型属于单晶炉制造技术领域,涉及直拉法单晶炉用坩埚轴。一种单晶炉用坩埚轴,包括坩埚轴本体和内管,坩埚轴本体套装在内管外,坩埚轴本体和内管之间有间隙,还包括芯轴和滑动轴承,所述坩埚轴本体包括轴头、主轴和旋转接头,轴头设置在主轴上端,旋转接头设置在主轴下端,所述主轴和旋转接头的轴心上开有相连通的通孔,所述坩埚轴本体内开有空腔,芯轴设置在空腔中通过滑动轴承安装在内管上端,芯轴轴心开有和内管连通的通孔,所述芯轴通过固定销固定在坩埚轴本体上,芯轴和坩埚轴本体之间有间隙。本实用新型与现有技术相比,本实用新型在坩埚轴内部增设芯轴,大大提高了坩埚轴的水冷效果,并且本实用新型安装简单。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉用 坩埚 | ||
【主权项】:
一种单晶炉用坩埚轴,包括坩埚轴本体(1)和内管(2),坩埚轴本体(1)套装在内管(2)外,坩埚轴本体(1)和内管(2)之间有间隙,其特征是:还包括芯轴(3)和滑动轴承(5),所述坩埚轴本体(1)包括轴头(11)、主轴(12)和旋转接头(13),轴头(11)设置在主轴(12)上端,旋转接头(13)设置在主轴(12)下端,所述主轴(12)和旋转接头(13)的轴心上开有相连通的通孔,所述坩埚轴本体(1)内开有空腔,芯轴(3)设置在空腔中通过滑动轴承(5)安装在内管(2)上端,芯轴(3)轴心开有和内管(2)连通的通孔,所述芯轴(3)通过固定销(4)固定在坩埚轴本体(1)上,芯轴(3)和坩埚轴本体(1)之间有间隙。
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