[实用新型]一种磁力传动观察窗挡板机构有效
申请号: | 201020214194.2 | 申请日: | 2010-05-25 |
公开(公告)号: | CN201729874U | 公开(公告)日: | 2011-02-02 |
发明(设计)人: | 侯荣华;张润芳;李红然;张子强 | 申请(专利权)人: | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/52 | 分类号: | C23C14/52 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹 |
地址: | 102600 北京市大兴工*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种磁力传动观察窗挡板机构,其包括:挡板轴,其穿过观察窗上开设的孔安装在观察窗上,挡板轴上部在观察窗内,下部穿过孔并向外延伸出一段;观察窗挡板,安装在挡板轴上部;导向套,安装在挡板轴下部,导向套与孔贴合;手轮,安装在导向套外侧,用于手动操作挡板机构时使用。本实用新型不存在动密封点,整个转动部分全部焊接在真空侧,可以应用于超高真空系统;耐热能力强;不使用轴承定位,对零件的加工精度要求不高,装配简单;不存在密封圈磨损,使用寿命长,磁铁退磁更换只需要拆除外部的手轮,无需检漏,简单方便;机构紧凑,体积小,可以和观察窗做成一体化结构。 | ||
搜索关键词: | 一种 磁力 传动 观察窗 挡板 机构 | ||
【主权项】:
一种磁力传动观察窗挡板机构,所述挡板机构配置安装在观察窗上,通过打开或关上挡板机构,使观察窗暴露于真空沉积环境中或者与其隔离开,其特征在于,所述挡板机构包括:挡板轴(2),其穿过观察窗上开设的孔(11)安装在观察窗上,挡板轴(2)上部在观察窗内,下部穿过孔(11)并向外延伸出一段;观察窗挡板(1),安装在所述挡板轴(2)上部;导向套(7),安装在所述挡板轴(2)下部,所述导向套(7)与孔(11)贴合。
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