[实用新型]一种自动接液器有效
| 申请号： | 201020216096.2 | 申请日： | 2010-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN201684764U | 公开（公告）日： | 2010-12-29 |
| 发明（设计）人： | 丁士成;沈忆华;袁馨 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/08 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种自动接液器，包括接液杯、导液管、机械臂和控制装置；所述导液管与所述接液杯的底部密封连接，所述机械臂的一端设置有机械臂手，所述机械壁手支撑接液杯，所述机械臂的另一端与所述控制装置电性相连。所述自动接液器有效解决了残留化学物质对晶圆的污染，在实际使用中，提高了晶圆的产量，并且所述自动接液器的结构简单、取材方便、使用寿命长且成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 接液器 | ||
【主权项】：
一种自动接液器，其特征在于，包括接液杯、导液管、机械臂和控制装置；所述导液管与所述接液杯的底部密封连接，所述机械臂的一端设置有机械臂手，所述机械壁手支撑所述接液杯，所述机械臂的另一端与所述控制装置电性相连。
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