[实用新型]电子轰击离子源控制系统有效
| 申请号： | 201020218117.4 | 申请日： | 2010-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN201829451U | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 应刚;张坤 | 申请（专利权）人： | 江苏天瑞仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/14 | 分类号： | H01J49/14 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 曹毅 |
| 地址： | 215200 江苏省昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子轰击离子源控制系统，包括上位机和第一灯丝，所述上位机分别连有离子源加热模块和离子源温度反馈模块，所述离子源加热模块的HT+端连接有一加热棒用于加热离子源，所述离子源温度反馈模块的PT+端连接有一铂电阻，用于感测离子源的温度，所述离子源加热模块采用的是PWM(脉宽调制)方式控制电压输出，输出电压值可以从0-24V线性可调。本实用新型的电子轰击离子源控制系统使得电子轰击离子源的控制变得简单，只需主控板给一个设定值，本系统就可以自动将离子源的各项状态调整到最佳状态，避免了灯丝老化，温度跳变等因素的对信号稳定性的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 轰击 离子源 控制系统 | ||
【主权项】：
一种电子轰击离子源控制系统，包括上位机(6)和第一灯丝(7)，所述上位机(6)分别连有离子源加热模块(1)和离子源温度反馈模块(2)，所述离子源加热模块(1)的HT+端(102)连接有一加热棒(101)用于加热离子源，所述离子源温度反馈模块(2)的PT+端(202)连接有一铂电阻(201)，用于感测离子源的温度，其特征在于：所述离子源加热模块(1)采用的是脉宽调制方式控制电压输出，输出电压值可以从0 24V线性可调。
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