[实用新型]微型油封式双级真空泵

摘要

一种密封反应釜中抽除酸性气体用的微型油封式双级真空泵，其特征是主要包括泵体及泵体上设置的进气口、排气口，泵体下设置的橡胶底座，泵体内安装的前级工作室和后级工作室，所述的前级工作室和后级工作室在同一泵体内，两级工作室前后串联，同向等速旋转，两级工作室内都有旋片、旋片弹簧和转子。旋片采用耐磨损、抗腐蚀能力强及传热性差的氮化硅陶瓷材料制作，转子及泵内腔镀氮化硅薄膜材料，此设计可以延长所述真空泵的使用寿命及减弱热传导作用。泵体内采用双级旋片式设计，两级工作室在同一泵体内，两级工作室串联处连接油槽，该设计使本实用新型结构合理简单、生产制造容易，并可获得高真空度。

主权项

微型油封式双级真空泵，其特征是：由进气口、串联通道油槽、螺杆、串联通道、排气口、排气口油槽、散热片、泵体、前级工作室、橡胶底座、后级工作室、旋片弹簧、转子、旋片组成；泵体上设置进气口、排气口，泵体下设置橡胶底座，泵体内安装前级工作室和后级工作室，所述的前级工作室和后级工作室在同一泵体内，两级工作室前后串联，两级工作室内都有旋片、旋片弹簧和转子。