[实用新型]一种三氯氢硅提纯装置有效
| 申请号： | 201020231452.8 | 申请日： | 2010-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN201704076U | 公开（公告）日： | 2011-01-12 |
| 发明（设计）人： | 孙亮 | 申请（专利权）人： | 唐山三孚硅业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 13108 | 代理人： | 李桂芳 |
| 地址： | 063305*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 一种三氯氢硅提纯装置，属于化工生产设备技术领域，目的是提供一种能够提取高纯度三氯氢硅和四氯化硅、且可以大幅度地降低尾气总量的提纯装置，其技术方案是：它采用脱轻塔、两级三氯氢硅精馏塔和四氯化硅精馏塔结构，脱轻塔与第一级三氯氢硅精馏塔、第二级三氯氢硅精馏塔依次连接，四氯化硅精馏塔接在第二级三氯氢硅精馏塔后，在第二级三氯氢硅精馏塔与四氯化硅精馏塔之间还接有中间罐。本实用新型的优点是：高纯三氯氢硅产品中的B含量得到了明显的降低，可以适用目前国内所有多晶硅生产厂家的要求；高纯三氯氢硅产品的纯度及收率均得到了明显的提高；四氯化硅纯度可以适用各气相白炭黑厂家的使用要求；尾气总量得到大幅度的降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三氯氢硅 提纯 装置 | ||
【主权项】：
一种三氯氢硅提纯装置，它包括三氯氢硅精馏塔、四氯化硅精馏塔，其特征在于：它增加了脱轻塔[1]，并采用两级三氯氢硅精馏塔，脱轻塔[1]与第一级三氯氢硅精馏塔[8]连接，第二级三氯氢硅精馏塔[12]接在第一级三氯氢硅精馏塔[8]后，四氯化硅精馏塔[20]接在第二级三氯氢硅精馏塔[12]后，在第二级三氯氢硅精馏塔[12]与四氯化硅精馏塔[20]之间还接有中间罐[16]。
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