[实用新型]一种自动测量装置有效
| 申请号： | 201020246465.2 | 申请日： | 2010-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN201795991U | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 黄臣 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01B11/02;G01B11/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种自动量测装置，包括：第一液晶显示器、光源、光源控制开关、第二液晶显示器、连接线、载物台。光源位于第一液晶显示器内部，光源控制开关位于第一液晶显示器上，第一液晶显示器与第二液晶显示器平行，并且第一液晶显示器与第二液晶显示器之间用连接线连接，载物台的载物面垂直于水平面并且与第二液晶显示器平行。该自动量测装置通过激光感应自动获取缺陷外形，并自动显示在液晶显示器的用户界面上，能解决手动操作过程中的繁杂、高风险、低效能等缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种自动量测装置，包括载物台，其特征在于，所述自动量测装置还包括：第一液晶显示器、光源、光源控制开关、第二液晶显示器、连接线；所述光源位于所述第一液晶显示器内部，所述光源控制开关位于所述第一液晶显示器上，所述第一液晶显示器与所述第二液晶显示器平行，并且所述第一液晶显示器与所述第二液晶显示器之间用所述连接线连接，所述载物台的载物面垂直于水平面并且与所述第二液晶显示器平行。
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