[实用新型]长度测量系统有效
| 申请号： | 201020246479.4 | 申请日： | 2010-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN201772862U | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 康盛;刘永波;何广智 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型的长度测量系统用于测量晶圆表面宏观缺陷的长度，其包括光源装置、载片台和自动控制装置；所述载片台位于所述光源装置的下方；所述光源装置发射的光束投射到所述载片台的表面上；所述自动控制装置与所述光源装置和载片台连接。本实用新型的长度测量系统不接触晶圆表面，不损伤晶圆表面，而且测量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 长度 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种长度测量系统，测量晶圆表面宏观缺陷的长度，其特征在于，包括光源装置、载片台和自动控制装置；所述载片台位于所述光源装置的下方；所述光源装置发射的光束投射到所述载片台的表面上；所述自动控制装置与所述光源装置和载片台连接。
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