[实用新型]一种固定对准装置

摘要

一种固定对准装置，用在半自动探针机台卡盘上，所述半自动探针机台的卡盘用于放置晶圆，所述固定对准装置包括挡片，所述挡片与所述晶圆的基准标记的位置相对应，所述挡片的头部压在所述晶圆上方，所述挡片的头部形状和大小与所述晶圆的基准标记的形状完全相同，所述挡片的尾部固定在所述卡盘的边缘。通过在所述半自动探针机台的卡盘上增加固定对准装置，充分利用了晶圆上面基准标记的特殊位置来安装固定对准装置，使晶圆在调平时有对准参照物，减少了晶圆对准时间和晶圆降温的时间，从而提高了效率，使风冷系统也能用于晶圆降温，并且在冷却风吹动晶圆时，晶圆固定不掉落，避免了碎片的危险，也提高了降温的效率。

主权项

一种固定对准装置，固定在半自动探针机台的卡盘上，所述半自动探针机台的卡盘上放置晶圆，其特征在于，所述固定对准装置位于所述卡盘的边缘，与所述晶圆的基准标记位置对应，所述固定对准装置包括挡片，所述挡片与所述晶圆的基准标记的位置相对应，所述挡片的头部压在所述晶圆上方，所述挡片的头部形状和大小与所述晶圆的基准标记的形状和大小完全相同，所述挡片的尾部固定在所述卡盘的边缘。