[实用新型]层间偏移测量装置有效
| 申请号： | 201020248780.9 | 申请日： | 2010-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN201715996U | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 吕明* | 申请（专利权）人： | 瀚宇博德股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/00 | 分类号： | G01B7/00;G01R31/02 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人： | 艾晶;周春发 |
| 地址： | 中国台湾桃园*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型层间偏移测量装置至少包含有：设于待测物上的对位靶标、至少一测试探针、一接地探针、至少一警示组件以及一负载，该对位靶标设有与该待测物相对应的复数层体，各层体于该对位靶标处设有导电层，该对位靶标于导电层处设有至少一镀通孔以及一接地孔，该导电层与该接地孔接触，而与该镀通孔隔离相对，该测试探针可伸入接触对应的镀通孔，该接地探针可伸入接触对应的接地孔，该警示组件与测试探针形成电性连接，该负载构成该警示组件与该接地探针形成电性连接，若其中有层体产生偏移，使得该层体的导电层与镀通孔形成短路，令相对应的警示组件通电发出警示，以判断此待测物为良品或瑕疵品。 | ||
| 搜索关键词： | 偏移 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种层间偏移测量装置，其特征在于，其至少包含有：一对位靶标，设于待测物上，该对位靶标设有与该待测物相对应的复数层体，各层体于该对位靶标处设有导电层，该对位靶标于导电层处设有至少一镀通孔以及一接地孔，该导电层与该接地孔接触，而与该镀通孔隔离相对；至少一测试探针，该测试探针可伸入接触对应的镀通孔；一接地探针，该接地探针可伸入接触对应的接地孔；至少一警示组件，该警示组件与测试探针形成电性连接；以及一负载，该负载构成该警示组件与该接地探针形成电性连接。
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