[实用新型]硅片料篮传输线有效
| 申请号： | 201020249506.3 | 申请日： | 2010-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN201699001U | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 田欢;黄永杰 | 申请（专利权）人： | 英利能源(中国)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波;逯长明 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片料篮传输线，包括用于承载硅片料篮(2)的输送带(1)和用于控制所述输送带(1)运行或停止的控制装置，所述输送带(1)前进方向与清洗所述硅片的清洗机的送料方向相反。硅片料篮传输线可以将空的料篮直接送回插片区，使料篮可以高效的循环使用。这样既可以减少推手推车的人力，节约人力资源；又可以使硅片清洗车间更美观，空间利用效率更高；还可以减少插片区的污垢和粉尘进入包片区，提高包片区的清洁度和硅片的清洗质量。同时，还可以减少料篮变形和破损的可能，减少购买料篮的数量，减少不必要的经济损失，节省企业开支。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 传输线 | ||
【主权项】：
一种硅片料篮传输线，其特征在于，包括用于承载硅片料篮(2)的输送带(1)和用于控制所述输送带(1)运行或停止的控制装置，所述输送带(1)前进方向与清洗所述硅片的清洗机的送料方向相反。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
