[实用新型]具有多上炉室的晶柱成长装置

摘要

本实用新型是一种具有多上炉室的晶柱成长装置，该装置其包括：一底座、一下炉室、一升降回旋装置、及至少二上炉室。该上炉室是具有一拉晶机可执行晶柱成长工艺，且，当该上炉室完成晶柱成长工艺并等待晶柱冷却的同时，可使用另一上炉室以继续下一段晶柱成长工艺，是能够有效地利用等待晶柱冷却的时间，而提升晶柱成长装置的生产效率与能源使用效率。

主权项

一种具有多上炉室的晶柱成长装置，其特征在于包括：一底座；一下炉室，是设置于该底座之上，该下炉室内部设置有一坩埚，该坩埚内具有一熔融液，该熔融液可成长为一晶柱；一升降回旋装置，是装设于底座之上，该升降回旋装置是包括：一支撑架，是设置于底座之上，以作为升降回旋装置的主体；至少一支撑柱，是装设于该支撑架的一壁面，该支撑柱是作为升降回旋装置的回旋轴；至少二支撑回旋机构，是枢接于支撑柱之上，该支撑回旋机构是能够以支撑柱为回旋轴而往返回旋；及至少二升降机构，是设置于支撑架内部，并由支撑架内部向外延伸以枢接于支撑柱，借由该升降机构，可使得支撑回旋机构在支撑柱之上升降。