[实用新型]超净高纯级氟化铵溶液制备装置有效
| 申请号： | 201020250960.0 | 申请日： | 2010-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN201770491U | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 戈士勇 | 申请（专利权）人： | 江阴市润玛电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01C1/16 | 分类号： | C01C1/16 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 214423 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种超净高纯级氟化铵溶液制备装置，其特征在于：它包括液氨储罐(1)、第一水洗桶(2)、第二水洗桶(3)、吸收桶(4)、混合罐(5)、过滤器(6)、成品桶(7)、氢氟酸桶(8)、纯化水桶(9)和水浴槽(10)。本实用新型超净高纯级氟化铵溶液制备装置，将液氨汽化为氨气，再经二级水洗以除去金属与非金属杂质，然后，将经过处理的氨气通入吸收桶与氢氟酸溶液反应，并经过混合罐混合后，过滤分装制得超净高纯级氟化铵溶液，其能满足微电子领域使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 净高 氟化 溶液 制备 装置 | ||
【主权项】：
一种超净高纯级氟化铵溶液制备装置，其特征在于：它包括液氨储罐(1)、第一水洗桶(2)、第二水洗桶(3)、吸收桶(4)、混合罐(5)、过滤器(6)、成品桶(7)、氢氟酸桶(8)、纯化水桶(9)和水浴槽(10)；所述液氨储罐(1)出口与第一水洗桶(2)进口相连，所述第一水洗桶(2)出口与第二水洗桶(3)进口相连，所述第二水洗桶(3)出口与吸收桶(4)进口相连，所述吸收桶(4)出口与混合罐(5)进口相连，所述混合罐(5)出口与过滤器(6)进口相连，所述过滤器(6)出口与成品桶(7)相连；所述吸收桶(4)置于水浴槽(10)中，所述吸收桶(4)上连接有氢氟酸桶(8)和纯化水桶(9)。
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