[实用新型]电容式加速度传感器有效
| 申请号： | 201020255442.8 | 申请日： | 2010-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN201749127U | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | 颜毅林;杨斌 | 申请（专利权）人： | 瑞声微电子科技(常州)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213167 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种电容式加速度传感器，其包括一种电容式加速度传感器，其包括测量电极组、配重电极及电容测量接口电路，所述测量电极组包括多个第一静电极部分、多个第二静电极部分，所述配重电极包括多个动电极部分，每一动电极部分对应与所述第一静电极部分及所述第二静电极部分之间分别形成电容结构，所述配重电极相对于所述测量电极组加速移动，所述电容测量接口电路接收所述电容变化信号，且所述加速度与所述电容变化呈线性变化。本实用新型的电容式加速度传感器具有传感灵敏度高、传感精度高、能够实现低加速度检测的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种电容式加速度传感器，其包括测量电极组及配重电极，其特征在于：所述测量电极组包括多个第一静电极部分、多个第二静电极部分，所述配重电极包括多个动电极部分，每一动电极部分对应与所述第一静电极部分及所述第二静电极部分之间分别形成电容结构，所述配重电极相对于所述测量电极组加速移动。
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