[实用新型]一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉

摘要

本实用新型的一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉，包括连通的上炉室和下炉室，上炉室的上端设置有籽晶抓卸及转盘分度装置，上炉室的上方设置有上传动装置，下炉室内部设置有高频电极及感应加热组件，高频电极及感应加热组件包括高频感应加热器和高频电极组件；下炉室与上炉室中设置有贯通上下的导向钢丝，导向钢丝上安装有籽晶卡头座，籽晶卡头座与籽晶卡头挂接，上传动装置通过软轴与籽晶卡头座连接，籽晶卡头上的籽晶头与高频感应加热器中的硅芯拉制孔一一对应。本实用新型的硅芯炉，能够在一炉次拉制15-18根硅芯，大大提高了硅芯的生产效率，降低了单根硅芯的能耗，降低了多晶硅生产的成本。

主权项

一种一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉，其特征在于：包括连通的上炉室（4）和下炉室（5），上炉室（4）的上端设置有籽晶抓卸及转盘分度装置（3），上炉室（4）的上方设置有上传动装置（1），下炉室（5）内部设置有高频电极及感应加热组件（7），高频电极及感应加热组件（7）包括高频感应加热器（25）和高频电极组件（24）；下炉室（5）与上炉室（4）中设置有贯通上下的导向钢丝（18），导向钢丝（18）上安装有籽晶卡头座（20），籽晶卡头座（20）与籽晶卡头（21）挂接，上传动装置（1）通过软轴（17）与籽晶卡头座（20）连接，籽晶卡头（21）上的籽晶头与高频感应加热器（25）中的硅芯拉制孔（31）一一对应；所述籽晶抓卸及转盘分度装置（3）的结构是，包括设置在上炉室（4）上盖上表面的转盘分度控制装置（19），以及位于上炉室（4）内部的分度转盘（22），转盘分度控制装置（19）和分度转盘（22）同轴固定连接；分度转盘（22）上设有一个硅芯拉制位（26）、两个籽晶卡头放置位（27）、两个硅芯放置位（29），共有五个工位。