[实用新型]用于检查具有第一表面和第二表面的透明玻璃板的装置

摘要

本实用新型涉及用于检查具有第一表面和第二表面的透明玻璃板的装置。提供了一种用于检测在玻璃板或玻璃条(2，14)内部或其表面上的颗粒或缺陷的玻璃检查系统。安装该系统使得待测表面(1)位于反射透镜(10)的物面中。该透镜将细条状区域成像在行扫描照相机(18)上，该细条状区域在沿透镜圆周正切的方向上很长，而在径向方向上很短。安装线形照明器(12)来照射条状区域。为了进行检查，沿着与细条的长轴垂直的方向，使该系统相对于玻璃运动，可以是相对玻璃移动该系统，或者当系统固定时移动玻璃。在移动过程中通过行扫描照相机收集图像信息并汇集成一图像。

主权项

一种用于检查具有第一表面和第二表面的透明玻璃板的装置，该装置包括：(A)光源，其照射玻璃板的一部分；(B)行扫描照相机，其检测从玻璃板上或玻璃板内的缺陷散射的光，该行扫描照相机包括多个像素，这些像素形成具有长度L和宽度W的光敏区域；以及(C)光学系统，其将从缺陷散射的光传输到行扫描照相机，该光学系统具有数值孔径NA并且包括：(i)主凹面反射镜，其具有第一部分和第二部分，该反射镜具有曲率半径R；和(ii)凸面次反射镜；其中：(a)从缺陷散射的光经过光路到达行扫描照相机，该光路包括来自凹面主反射镜的第一部分的反射、来自凸面次反射镜的反射以及来自凹面主反射镜的第二部分的反射；(b)主和次反射镜的曲率中心基本重合，并且次反射镜的半径基本上等于主反射镜的半径的一半；以及(c)L、W和R满足下述关系：L/R≤0.25；和对于NA≥0.10，W/R≤0.14*(sqrt(1 (L/R)2) 1)+0.046；和对于NA≥0.12，W/R≤0.14*(sqrt(1 (L/R)2) 1)+0.033；和对于NA≥0.15，W/R≤0.14*(sqrt(1 (L/R)2) 1)+0.020。