[实用新型]非晶硅太阳能电池背电极镀制工艺腔室中用的切换阀装置有效
| 申请号： | 201020272608.7 | 申请日： | 2010-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN201739526U | 公开（公告）日： | 2011-02-09 |
| 发明（设计）人： | 朱华;李兆廷 | 申请（专利权）人： | 河北东旭投资集团有限公司;成都泰轶斯太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/16 | 分类号： | F16K1/16;F16K31/122 |
| 代理公司： | 深圳市智科友专利商标事务所 44241 | 代理人： | 曲家彬 |
| 地址： | 050021 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 非晶硅太阳能电池背电极镀制工艺腔室中用的切换阀装置，解决了现有技术中非晶硅太阳能电池背电极设备中的插板阀结构复杂、使用不便、维护困难的技术问题，采用的技术方案是，以上切换阀装置设置在相邻两个真空腔室分隔板上，结构中包括定位在轴上的阀板总成、与轴固定连接的设定在工艺腔室之外的传动机构、借助驱动机构阀板具有绕轴转动的旋转自由度，真空腔室分隔板上配套设置有阀口，阀口与阀板在关闭状态下呈密封接触配合。本实用新型的有益效果是：用本实用新型中的切换阀装置代替现有技术中的插板阀结构，由于本实用新型结构简单，既降低了制造成本，又便于安装和维修，减缓了操作人员的作业负担。 | ||
| 搜索关键词： | 非晶硅 太阳能电池 电极 工艺 中用 切换 装置 | ||
【主权项】：
非晶硅太阳能电池背电极镀制工艺腔室中用的切换阀装置，以上切换阀装置设置在相邻两个真空腔室分隔板(8)上，其特征在于：结构中包括定位在轴(5)上的阀板(6)总成、与轴(5)固定连接的设定在工艺腔室之外的传动机构、借助驱动机构阀板(6)具有绕轴(5)转动的旋转自由度，真空腔室分隔板(8)上配套设置有阀口(8 1)，阀口(8 1)与阀板(6)在关闭状态下呈密封接触配合。
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