[实用新型]一种硅片推片器有效
| 申请号： | 201020273872.2 | 申请日： | 2010-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN201838568U | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 朱道峰;高毅;黄萍;王国华;周祖武;赵剑京;张洪建 | 申请（专利权）人： | 北京市塑料研究所 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 | 代理人： | 朱黎光 |
| 地址： | 100009 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种硅片推片器，包括：支撑一个石英舟和一个硅片装载花篮的底座、等间距设置有多个推齿的推齿片、推板、拉杆、导向滑轨和连接部件，其中，所述推齿片分别安装在推板相对的侧面，导向滑轨固定在底座底部，拉杆设置在导向滑轨上，所述连接部件的一端连接推板，另一端连接拉杆。将硅片承载花篮和装有硅片的石英舟同时固定安装在推片器的底座上，推片器的推齿分别对准放置在石英舟中的硅片，移动拉杆，拉杆通过连接部件拉动推板移动，推板带动推齿片推动石英舟的硅片倒入硅片承载花篮。在硅片倒片时，避免手指接触硅片表面，防止硅片污染和破损，并且硅片能够同时被推入硅片承载花篮，提高倒片效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 推片器 | ||
【主权项】：
一种硅片推片器，其特征在于，包括：支撑一个石英舟和一个硅片装载花篮的底座、等间距设置有多个推齿的推齿片、推板、拉杆、导向滑轨和连接部件，其中，所述推齿片分别安装在推板相对的侧面，导向滑轨固定在底座底部，拉杆设置在导向滑轨上，所述连接部件的一端连接推板，另一端连接拉杆。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
