[实用新型]超净高纯级磷酸提取装置有效
申请号: | 201020281608.3 | 申请日: | 2010-08-02 |
公开(公告)号: | CN201770482U | 公开(公告)日: | 2011-03-23 |
发明(设计)人: | 戈士勇 | 申请(专利权)人: | 江阴市润玛电子材料有限公司 |
主分类号: | C01B25/234 | 分类号: | C01B25/234 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人: | 唐纫兰;曾丹 |
地址: | 214423 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种超净高纯级磷酸提取装置,其特征在于:它包括原料槽(1)、萃取器(2)、溶剂槽(3)、脱硫槽(4)、过滤器(5)、洗涤器(6)、反萃取器(7)、成品槽(8)和碳酸钡溶液槽(9);所述原料槽(1)和溶剂槽(3)出口分别与萃取器(2)进口相连,所述萃取器(2)出口与脱硫槽(4)进口相连,所述脱硫槽(4)进口上还连接有碳酸钡溶液槽(9),所述脱硫槽(4)出口与过滤器(5)进口相连,所述过滤器(5)出口与洗涤器(6)进口相连,所述洗涤器(6)出口与反萃取器(7)进口相连,所述反萃取器(7)出口与成品槽(8)相连。本实用新型超净高纯级磷酸提取装置,能降低磷酸中的金属杂质和硫含量、且可满足微电子领域使用要求。生成的超净高纯级磷酸可达到MOS标准。 | ||
搜索关键词: | 净高 磷酸 提取 装置 | ||
【主权项】:
一种超净高纯级磷酸提取装置,其特征在于:它包括原料槽(1)、萃取器(2)、溶剂槽(3)、脱硫槽(4)、过滤器(5)、洗涤器(6)、反萃取器(7)、成品槽(8)和碳酸钡溶液槽(9);所述原料槽(1)和溶剂槽(3)出口分别与萃取器(2)进口相连,所述萃取器(2)出口与脱硫槽(4)进口相连,所述脱硫槽(4)进口上还连接有碳酸钡溶液槽(9),所述脱硫槽(4)出口与过滤器(5)进口相连,所述过滤器(5)出口与洗涤器(6)进口相连,所述洗涤器(6)出口与反萃取器(7)进口相连,所述反萃取器(7)出口与成品槽(8)相连。
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