[实用新型]晶圆劈裂刀具装置

摘要

一种晶圆劈裂刀具装置，包含一基座、一限位单元与多个裂片单元，所述限位单元的一侧与所述基座结合，所述多个裂片单元水平排列，且穿设于所述限位单元，并分别通过栓件与所述限位单元迫紧抵靠，所述多个裂片单元的尖锐端分别与晶圆的切割线对齐，且分别与晶圆的表面靠接，当所述多个裂片单元击发时，将均匀施力于与其靠接的晶圆表面而将晶圆整齐地裂解。

主权项

一种晶圆劈裂刀具装置，其特征在于，包含：一基座；一限位单元，其一侧与所述基座结合，包含一连接侧部、一套合侧部与一盖体，所述连接侧部外侧与所述基座的一侧面结合，所述套合侧部与所述连接侧部对合，且两者间形成一贯穿的容置空间，所述盖体设于所述连接侧部与套合侧部上方，并分别与所述连接侧部与套合侧部结合，所述盖体包含由上而下贯穿设置的多个容置孔与一限位口，所述容置孔下侧是内缩的，使所述盖体在各容置孔中间段形成一挡缘，所述限位口由所述盖体底部内侧与套合侧部及连接侧部所围成，且与所述容置空间连通，所述限位口上方及下方形成两限位缘；以及多个裂片单元，所述多个裂片单元排列成一直线，且穿设于所述限位单元，包含多个劈刀、多个对应于劈刀设置的弹性组件与多个对应于劈刀设置的击锤，所述多个劈刀穿设于所述容置空间，而与所述连接侧部及套合侧部结合，各劈刀顶部向两相反侧延伸形成延伸片，设于前述的限位口内，各弹性组件穿设于所述容置孔下侧，而与各劈刀的延伸片顶部结合，各击锤穿设于所述容置孔上侧，而与各弹性组件顶部结合。