[实用新型]抛光机的上抛光盘有效
| 申请号： | 201020515304.9 | 申请日： | 2010-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN201824260U | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 金万斌;李娟;梁春 | 申请（专利权）人： | 兰州瑞德实业集团有限公司 |
| 主分类号： | B24D13/18 | 分类号： | B24D13/18 |
| 代理公司： | 兰州振华专利代理有限责任公司 62102 | 代理人： | 张真 |
| 地址： | 730000 甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片研磨机或抛光机的结构，尤其涉及硅片研磨机或抛光机上抛光盘的结构。一种抛光机的上抛光盘，包括有上盘工作盘(7)，其主要特点在于还包括有在上盘工作盘(7)的上方设有上盘水冷盘(5)，上盘工作盘(7)与上盘水冷盘(5)之间形成空腔(2)，在上盘水冷盘(5)上设有进水口(3)和出水口(6)，分别与空腔(2)连通。本实用新型的优点是：特殊的水冷盘结构由几个独立的扇形区域腔构成，每个扇形区域腔有各自的进出水口，水路设计为迷宫式，避免了冷却水走捷径，只有在冷却水充满腔体后才能从出水口流出，确保了冷却水能对抛盘进行充分冷却，及时带走因加工而产生的热量，对抛盘起到了强制冷却的作用，较传统的被动式冷却更可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光机 抛光 | ||
【主权项】：
一种抛光机的上抛光盘，包括有上盘工作盘(7)，其特征在于，还包括有在上盘工作盘(7)的上方设有上盘水冷盘(5)，上盘工作盘(7)与上盘水冷盘(5)之间形成空腔(2)，在上盘水冷盘(5)上设有进水口(3)和出水口(6)，所述的进水口(3)和出水口(6)分别与空腔(2)连通。
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