[实用新型]一种气体混配供气装置

摘要

本实用新型涉及气体混合设备技术领域，尤其涉及一种气体混配供气装置；本实用新型包括有用于混配不同气体的混合器，以及与混合器连接的气体传输管路，所述气体传输管路包括有第一气体管路、第二气体管路以及气体输出管路，第一气体管路包括有通过气体管道依次连接的前电动阀和后电动阀；第一气体管路和第二气体管路之间装设有压力反馈组件，压力反馈组件与前电动阀连接；第一气体管路与气体输出管路之间装设有浓度反馈组件，浓度反馈组件与后电动阀连接；压力反馈组件和浓度反馈组件可以对本实用新型进行实时控制，实现了精确控制气体混合比例，也满足了设备在实际运行工况条件下对稳定混配供气的需要。

主权项

一种气体混配供气装置，包括有用于混配不同气体的混合器（11），以及与混合器（11）连接的气体传输管路，所述气体传输管路包括有气体输入管路和气体输出管路，所述气体输入管路包括第一气体管路和第二气体管路，其特征在于：第一气体管路包括有通过气体管道依次连接的前电动阀（3）和后电动阀（5）；第一气体管路和第二气体管路之间装设有压力反馈组件，压力反馈组件与前电动阀（3）连接；第一气体管路与气体输出管路之间装设有浓度反馈组件，浓度反馈组件与后电动阀（5）连接。