[实用新型]一种薄膜制造装置无效
| 申请号： | 201020523541.X | 申请日： | 2010-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN201793737U | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 朱奎 | 申请（专利权）人： | 朱奎 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 325000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本使用新型公开了一种薄膜制造装置，其特征是包括进气管、出气管、真空测量器、基片、基台、电极、直流电源、容器壁。进气管管径为150～300mm，出气管管径80～150mm，真空测量计带报警器，基片位于铜电极下方10～15cm，基片放置在基台上，基片边缘与容器壁间隙为3～5cm，铜电极与直流电源联接。本使用新型工艺简单，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 制造 装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜制造装置，其特征是包括进气管、出气管、真空测量器、基片、基台、电极、直流电源、容器壁，进气管管径为150～300mm，出气管管径80～150mm，真空测量计带报警器，基片位于铜电极下方10～15cm，基片放置在基台上，基片边缘与容器壁间隙为3～5cm，铜电极与直流电源联接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朱奎，未经朱奎许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201020523541.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：节能式油烟机和燃气具封闭罩
- 下一篇：具有防堵进渣组件的滚筒式冷渣器
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
