[实用新型]一种可加强石英坩埚清洗能力的装置无效
| 申请号： | 201020534695.9 | 申请日： | 2010-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN201842775U | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 杨业林;陈宝昌 | 申请（专利权）人： | 扬州华尔光电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C03C23/00 | 分类号： | C03C23/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 徐激波 |
| 地址： | 225600 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可加强石英坩埚清洗能力的装置，包括支撑模块一、支撑模块二、配合件、组合喷淋头和支撑爪，所述支撑模块一和支撑模块二围绕组合喷淋头设置，支撑模块一和支撑模块二之间通过配合件连接，支撑模块一和支撑模块二上分别安装有支撑爪，支撑爪上设置有凹槽。本实用新型承载石英坩埚的支撑模块选用无毒环保、耐磨、弹性较好的BPU材料制成，具有良好的防撞性能，可减小石英坩埚与支撑模块相接触形成的后天应力，而且通过两组支撑模块的上下位置互换，可在清洗过程中实现升降切换，彻底消除整个系统的清洗死角。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加强 石英 坩埚 清洗 能力 装置 | ||
【主权项】：
一种可加强石英坩埚清洗能力的装置，其特征在于：包括支撑模块一(1)、支撑模块二(2)、配合件(3)、组合喷淋头(4)和支撑爪(5)，所述支撑模块一(1)和支撑模块二(2)围绕组合喷淋头(4)设置，支撑模块一(1)和支撑模块二(2)之间通过配合件(3)连接，支撑模块一(1)和支撑模块二(2)上分别安装有支撑爪(5)，支撑爪(5)上设置有凹槽。
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