[实用新型]一种用于金属有机物化学气相沉积的真空处理系统

摘要

本实用新型提供了一种用于金属有机物化学气相沉积的真空处理系统，包括：具有若干个密封门的传输室，其内部设置有第一传输装置；与所述若干个密封门中的至少一个相连接的真空锁，其用于连接所述传输室和外界大气环境；与所述若干个密封门中的至少一个相连接的反应室，所述多片基片在所述反应室中进行金属有机物化学气相沉积处理；反应室辅助系统，其与所述反应室在空间分布上呈堆栈式排列；以及所述真空锁和所述反应室连接于传输室的周围。本实用新型还能够有效地节省洁净室的空间，并且能够实现基片在机台中的自动化传输，节约了人力物力成本。

主权项

一种用于金属有机物化学气相沉积的真空处理系统，其特征在于，所述真空处理系统包括：具有若干个密封门的传输室，其内部设置有第一传输装置，至少一个放置有多片基片的载片盘可以通过所述第一传输装置经过所述密封门被传输；与所述若干个密封门中的至少一个相连接的真空锁，其用于连接所述传输室和外界大气环境，以在不损失所述传输室内的真空的前提下在外界大气环境和所述传输室之间对所述载片盘进行传输；与所述若干个密封门中的至少一个相连接的反应室，所述多片基片在所述反应室中进行金属有机物化学气相沉积处理；反应室辅助系统，其与所述反应室在空间分布上呈堆栈式排列；以及所述真空锁和所述反应室连接于传输室的周围。