[实用新型]真空多弧离子镀膜机有效
| 申请号： | 201020539482.5 | 申请日： | 2010-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN201793722U | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 林锡强;陈孝田 | 申请（专利权）人： | 温州市佳能真空电镀设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空多弧离子镀膜机，包括真空抽气系统、真空室、真空室门、设置在真空室中的工件转架以及设置在真空室体上的若干个弧源装置，弧源装置包括与真空室体固定连接的法兰、设于法兰上的引弧装置和阴极水套、装在阴极水套上的靶材、设于靶材上方的磁铁，在阴极水套上插入固定连接的磁铁缸体，磁铁缸体的上端固定连接磁缸调节套，磁缸调节套上设有螺纹连接的调节螺杆，磁铁与调节螺杆的里端固定连接，磁铁置于磁铁缸体中。其有益的技术效果是：可调节磁铁与靶材的相对位置，从而使真空室中的磁场强度发生变化，镀膜机具有可针对不同靶材和工况下，达到最佳工作状态的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 离子 镀膜 | ||
【主权项】：
真空多弧离子镀膜机，包括真空抽气系统、真空室、真空室门、设置在真空室中的工件转架以及设置在真空室体上的若干个弧源装置，弧源装置包括与真空室体固定连接的法兰、设于法兰上的引弧装置和阴极水套、装在阴极水套上的靶材、设于靶材上方的磁铁，其特征在于：在阴极水套上插入固定连接的磁铁缸体，磁铁缸体的上端固定连接磁缸调节套，磁缸调节套上设有螺纹连接的调节螺杆，磁铁与调节螺杆的里端固定连接，磁铁置于磁铁缸体中。
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