[实用新型]非晶硅薄膜等离子体增强化学气相沉积设备

摘要

本实用新型适用于太阳能电池生产领域，提供了一种非晶硅薄膜等离子体增强化学气相沉积设备，包括一等离子腔体、加热系统、气路系统、真空系统、供电系统、夹具，所述等离子腔体为可密闭的圆筒形单腔室，与真空系统及气路系统相连，所述夹具置于所述等离子腔体内，所述加热系统为一设有加热器的油箱，设置于所述等离子腔体下方，所述供电系统由多个控制单元组成，所述夹具上设有多个供电端口，该多个控制单元分别与该多个供电端口一一对应相连接。这样设计的等离子体增强化学气相沉积设备可以沉积大尺寸非晶硅薄膜太阳能电池板，且能保证沉积的薄膜厚度均匀、质量稳定，并提高生产效率。

主权项

一种非晶硅薄膜等离子体增强化学气相沉积设备，包括一等离子腔体、加热系统、气路系统、真空系统、供电系统、夹具，其特征在于：所述等离子腔体为可密闭的圆筒形单腔室，与真空系统及气路系统相连，所述夹具置于所述等离子腔体内，所述加热系统为一设有加热器的油箱，设置于所述等离子腔体下方，所述供电系统由多个控制单元组成，所述夹具上设有多个供电端口，该多个控制单元分别与该多个供电端口一一对应相连接。