[实用新型]一种NiCr阴极溅射挡板

摘要

本实用新型公开一种NiCr阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，所述的第一阴极挡板本体与所述的第二阴极挡板本体之间具有一个口部，所述的第一阴极挡板本体上设置有与之相互平行的能够沿其表面滑动的第一伸缩板，所述的第二阴极挡板本体上设置有与之相互平行的能够沿其表面滑动的第二伸缩板，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板能够相向滑动或者相背滑动，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板相向滑动时将所述的口部部分封盖。本实用新型的结构在即使NiCr阴极功率很低的情况下，确保靶材原子以高能量溅射到基片表面，增加NiCr膜层与介质层的附着力，提高产品的耐磨、耐酸碱性能，适合推广使用。

主权项

一种NiCr阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，所述的第一阴极挡板本体与所述的第二阴极挡板本体之间具有一个口部，其特征在于：所述的第一阴极挡板本体上设置有第一伸缩板，所述的第二阴极挡板本体上设置有第二伸缩板，所述的第一伸缩板与所述的第一阴极挡板本体相互平行，所述的第二伸缩板与所述的第二阴极挡板本体相互平行，所述的第一伸缩板能够沿所述的第一阴极挡板本体的表面滑动，所述的第二伸缩板能够沿所述的第二阴极挡板本体的表面滑动，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板能够相向滑动或者相背滑动，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板相向滑动时将所述的第一阴极挡板本体与第二阴极挡板本体之间的口部部分封盖。