[实用新型]太阳能电池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板无效
| 申请号： | 201020548421.5 | 申请日： | 2010-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN201809440U | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 孟利萍 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及太阳能电池链式湿法刻蚀设备技术领域，特别是一种太阳能电池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板。刻蚀槽盖板为弧形，盖板中部高，四周低，通过改变刻蚀槽盖板的形状，使得酸气聚集成液滴后可沿盖板流至机台边缘而回到刻蚀槽中，目前由液滴造成的不良片比例大约为0.1％左右。本设计可减少刻蚀槽液滴滴落到硅片扩散面上的几率，从而降低由液滴滴落造成的不良片的比例。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 链式 湿法 刻蚀 设备 盖板 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板，其特征是：所述的刻蚀槽盖板(1)为弧形，盖板中部高，四周低。
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