[实用新型]热式质量流量传感器封装件有效
| 申请号： | 201020550686.9 | 申请日： | 2010-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN201787980U | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 刘海东;肖素艳;蒋乐跃 | 申请（专利权）人： | 美新半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/78 | 分类号： | G01F1/78;B81B7/00 |
| 代理公司： | 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 | 代理人： | 王爱伟 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种热式质量流量传感器封装件，其包括流量传感器芯片和与流量传感器芯片键合在一起的盖帽，所述流量传感器芯片上设有传感器敏感区，所述传感器敏感区设有微热源和温度传感器，所述盖帽上设置流体流道，所述传感器敏感区位于盖帽的流体流道内。本实用新型涉及的热式质量流量传感器封装件，有效提高流量传感器芯片性能的一致性、稳定性及可靠性，并且有效减低封装成本，同时有效提高产品的良率及生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 流量传感器 封装 | ||
【主权项】：
一种热式质量流量传感器封装件，其特征在于：其包括流量传感器芯片和与流量传感器芯片键合在一起的盖帽，所述流量传感器芯片上设有传感器敏感区，所述传感器敏感区设有微热源和温度传感器，所述盖帽上设置流体流道，所述传感器敏感区位于盖帽的流体流道内。
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