[实用新型]能够放大空间偏移的OVL标记无效
| 申请号： | 201020561708.1 | 申请日： | 2010-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN201828772U | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 丁刘胜 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 张骥 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种能够放大空间偏移的OVL标记，包括几何图形状标记，几何图形设有角θ，tag(θ)为所述几何图形的放大因子。所述几何图形为等腰梯形、三角型或菱形。本实用新型利用几何图形的形状，能够将很小的偏移放大，以至于达到可以目测或其他量测方式的范围。 | ||
| 搜索关键词： | 能够 放大 空间 偏移 ovl 标记 | ||
【主权项】：
一种能够放大空间偏移的OVL标记，其特征在于：包括几何图形状标记，几何图形设有角θ，tag(θ)为所述几何图形的放大因子。
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