[实用新型]一种高温炉工艺腔

摘要

本实用新型提供一种高温炉工艺腔，包括：底座和炉管；所述炉管的顶端上设置有冷却腔；所述冷却腔的一侧设置有进气口，另一侧设置有排气口；所述冷却腔的外侧还设置有进气管道和排气管道，所述进气管道的一端通过所述进气口进入所述冷却腔中，另一端位于所述冷却腔外；所述排气管道的一端通过所述排气口进入所述冷却腔中，另一端位于所述冷却腔外。本实用新型的高温炉工艺腔通过在冷却腔中通入压缩气体使炉管顶部的温度降低，可保证炉管顶部的温度在安全范围以内以避免炉管顶部因长时间的高温而变形塌陷，从而可有效延长炉管的使用寿命，且可提高炉管的耐热温度，提高工艺的设定温度，为研究缩短工艺时间或对该步骤的实际改善提供更为广泛的实验空间。

主权项

一种高温炉工艺腔，包括：底座和炉管；所述炉管垂直置于所述底座上；所述炉管内的顶部位置设置有气体分流板，所述气体分流板上具有多个通气通孔，气体输入管道通入至所述气体分流板和所述炉管的顶端之间，其特征在于，所述炉管的顶端之上还设置有冷却腔；所述冷却腔的一侧设置有进气口，另一侧设置有排气口；所述冷却腔的外侧还设置有进气管道和排气管道，所述进气管道的一端通过所述进气口进入所述冷却腔中，另一端位于所述冷却腔外；所述排气管道的一端通过所述排气口进入所述冷却腔中，另一端位于所述冷却腔外。