[实用新型]除胶用清洗装置有效

专利信息
申请号: 201020565128.X 申请日: 2010-10-16
公开(公告)号: CN201859840U 公开(公告)日: 2011-06-08
发明(设计)人: 左小文;崔金忠 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型提供一种除胶用清洗装置,包括浸泡槽和清洗架,所述浸泡槽包括槽体和悬挂架,所述清洗架包括连接部、支撑部与放置部,其中:所述连接部包括矩形框架,所述支撑部固定于所述连接部上方,所述支撑部包括第一挂栏、第二挂栏;所述放置部固定于所述连接部下方,包括至少两个“U”型架,所述“U”型架的中部设置有多个分隔件,所述多个分隔件互相平行。所述除胶用清洗装置能够有效解决待除胶产品表面胶带残留物,并且有效防止在除胶过程中待除胶产品相互碰撞摩擦造成划痕、以及待除胶产品表面残留除胶用化学物质的问题,从而有效提高了生产效率,不造成影响后续工艺,进而提高产品的良率。
搜索关键词: 清洗 装置
【主权项】:
一种除胶用清洗装置,其特征在于,包括至少一个浸泡槽和清洗架,所述浸泡槽包括槽体和悬挂架,所述悬挂架固定于所述槽体上,所述清洗架包括连接部、支撑部与放置部,其中:所述连接部包括矩形框架,所述矩形框架的宽度小于所述浸泡槽的宽度,所述矩形框架的长度小于所述浸泡槽的长度;所述支撑部固定于所述连接部上方,所述支撑部包括第一挂栏和第二挂栏,所述第一挂栏、第二挂栏分别固定在所述矩形框架的两长边上,所述第一挂栏与所述第二挂栏互相对称,均设有弯折部;所述放置部固定于所述连接部下方,包括至少两个“U”型架,所述“U”型架的两端分别固定在所述矩形框架的两短边上,所述“U”型架的中部设置有多个分隔件,所述多个分隔件互相平行。
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