[实用新型]用于太阳电池湿制程中的风刀板、风刀、风刀组及设备有效
申请号: | 201020570728.5 | 申请日: | 2010-10-18 |
公开(公告)号: | CN201871511U | 公开(公告)日: | 2011-06-22 |
发明(设计)人: | 黄洪杰;郑晔 | 申请(专利权)人: | 无锡尚德太阳能电力有限公司;库特勒自动化系统(苏州)有限公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02;F26B21/00;H01L31/18 |
代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;廉振保 |
地址: | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于太阳电池湿制程中的风刀板、风刀、风刀组及设备,所述风刀板内部具有一沿板长方向延伸的空腔,空腔的一侧开设有由风刀板外侧导通至空腔内的第一进风口,空腔的另一侧开设有多行沿板长方向排布的喷孔,空腔通过多行喷孔导通至风刀板外侧。所述风刀,包括连接管、进气接头和风刀板,风刀板和进气接头通过连接管进行连接。所述风刀组包括两个对称设置在工件上下方的风刀,每个风刀的出风孔的轴线沿竖直方向设置并偏向工件运动的反方向。所述设备,包括风刀组。本实用新型结构简单,可以直接应用于太阳电池湿制程设备的药液槽内或药液槽之间;并具有挡液效果明显,耗气量低,需要的气体压力较低的优点。 | ||
搜索关键词: | 用于 太阳电池 湿制程 中的 风刀板 风刀 风刀组 设备 | ||
【主权项】:
一种风刀板,所述风刀板内部具有一沿板长方向延伸的空腔,所述空腔的一侧开设有由所述风刀板外侧导通至所述空腔内的第一进风口,其特征在于,所述空腔的另一侧开设有多行沿板长方向排布的喷孔,所述空腔通过所述多行喷孔导通至所述风刀板外侧。
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