[实用新型]干式机械抽真空自动检测系统

摘要

本实用新型公开了一种干式机械抽真空自动检测系统，包括PLC控制单元、真空度检测单元、含尘检测单元和气体成分检测单元；真空度检测单元包括真空度检测仪I、真空度检测仪II和真空度检测仪III，含尘检测单元包括激光含尘检测仪，气体成分检测单元包括气体成分在线检测仪，各检测仪根据干式抽真空设备的特点安装在不同的位置，能够实时在线地采集到反映工艺气真空度和含尘浓度以及尾气气体成分的相关数据，从而对所抽气体在各个环节的情况有全面和准确的了解，同时通过设置上位主机，能够实现实时调节，满足了自动控制的需要。

主权项

干式机械抽真空自动检测系统，其特征在于：所述系统包括PLC控制单元、真空度检测单元、含尘检测单元和气体成分检测单元；所述真空度检测单元包括真空度检测仪I、真空度检测仪II和真空度检测仪III，所述真空度检测仪I设置在真空冶炼槽与分离式冷却器的连接管道上，所述真空度检测仪II设置在分离式冷却器与过滤器的连接管道上，所述真空度检测仪III设置在过滤器与真空泵组的连接管道上；所述含尘检测单元包括激光含尘检测仪，所述激光含尘检测仪设置在过滤器与真空泵组的连接管道上；所述气体成分检测单元包括气体成分在线检测仪，所述气体成分在线检测仪设置在真空泵组的尾气排出管道上；所述真空度检测单元、含尘检测单元和气体成分检测单元分别将采集的信号发送至PLC控制单元。