[实用新型]一种晶棒平磨抛光机无效
| 申请号： | 201020576617.5 | 申请日： | 2010-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN201856157U | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 王土军;徐增宏;余城伟;方明游 | 申请（专利权）人： | 浙江硅宏电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/04 | 分类号： | B24B29/04 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 舒良 |
| 地址： | 324300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶棒平磨抛光机，该抛光机的左右轨道设置在底座上，左右传动杆固定在底座或基座上，基座设置在左右轨道轴承上，左右轨道轴承设置在左右轨道上，且左右轨道轴承通过左右传动杆在左右轨道上移动；晶棒托架固设在前后轨道轴承上，前后传动杆固定在晶棒托架上或是固定在基座上，前后轨道轴承设置在前后轨道上，且前后轨道轴承通过前后传动杆在前后轨道上移动。采用本实用新型，只要将晶棒固定在晶棒托架上，并通过机械自动控制晶棒前后、左右移动，进行晶棒的抛光，可替代手工作业，且抛光效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶棒平磨 抛光机 | ||
【主权项】：
一种晶棒平磨抛光机，包括机架、抛光轮、底座、左右轨道、左右轨道轴承、左右传动杆、基座、前后轨道、前后轨道轴承、前后传动杆、晶棒托架和晶棒夹具；其中的抛光轮设置在机架上，机架固定在底座上，晶棒夹具设置在晶棒托架上；其特征在于左右轨道设置在底座上，左右传动杆固定在底座或基座上，基座设置在左右轨道轴承上，左右轨道轴承设置在左右轨道上，且左右轨道轴承通过左右传动杆在左右轨道上移动；晶棒托架固设在前后轨道轴承上，前后传动杆固定在晶棒托架上或是固定在基座上，前后轨道轴承设置在前后轨道上，且前后轨道轴承通过前后传动杆在前后轨道上移动。
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